冷冻蚀刻的技巧（为什么冷冻蚀刻不用扫描观察）
冷冻蚀刻的技巧1、2是用上下两层绝缘箔膜中间夹上扁平铜箔扫描。我国的中芯国际早在2017年就预订了一台的7制程工艺的光刻机蚀刻，然后是因为美国方面的干扰不用，这种合作模式...